[논문자료]이중 분산기 구조의 다파장 공초점 주사 현미경에 관한 연구
이중 분산기 구조의 다파장 공초점 주사 현미경에 관한 연구 다파장 공초점 현미경은 백색광원을 사용하며, 빛이 광축방향으로 색수차를 가지게 하여 각각의 파장이 광축방향으로 서로 다른 위치에 초점이 맺히게 해, 시편에서 반사되는 빛의 파장을 분광기로 분석하여 시편의 높이를 측정한다. 이 방법은 기존의 공초점 현미경보다 3차원 영상 복원 속도를 높일 수 있다. 왜냐하면 기존의 공초점 현미경은 3차원 영상 복원을 위해 대물렌즈 혹은 시편을 기계적으로 이송시켜 광축 방향의 광학 절편 영상을 얻어야 하는데 비해, 다파장 공초점 현미경은 기계적인 이송이 필요없기 때문이다. 일반적으로 비교적 저렴하게 시스템을 구성할 수 있는 굴절형 렌즈와 제논 램프를 사용한 다파장 공초점 현미경은 측정 범위가 짧다. 산업계에서는 ..
관련동향
2020. 12. 4. 08:53