[논문자료]수직형 LED 제조 장비용 엑시머 레이저 빔 균질기 설계
최근 반도체 산업에서 높은 효율과 정밀도를 요구하는 분야에 레이저를 이용한 광학계의 수요가 늘어나고 있다. 다른 광원에 비해 레이저의 높은 에너지 및 작은 발산으로 인해 미세 가공처리(Micro-Machining) 또는 열처리(Laser Annealing)등 다양한 분야에서 사용 되고 있다. 이 때 레이저 빔의 형태 또는 에너지 분포를 원하는 형태로 바꿔주는 빔 성형(Beam Shaping) 기술이 각광받고 있다. 그 중 엑시머 레이저를 광원으로 사용하여 일정한 영역 내에서 균일한 에너지 분포를 갖게 하는 빔 균질기(Beam Homogenizer)를 연구하였다. 수직형 LED를 제조하는 과정 중 레이저 리프트 오프(Laser Lift-Off : LLO)장비에 사용 되는 광학계로 정사각형의 균일한 에너지 ..
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2021. 7. 22. 09:27