[논문자료] TSDC 방법을 이용한 X5R MLCC의 신뢰성 평가
최근 급속도로 진행되고 있는 IT기기의 소형화, 고성능화, 저전력화와 전자부품의 경박단소화 흐름에 따라 MLCC도 초소형, 초고용량화로 연구, 발전되어왔다. 고성능의 MLCC 구현에 우선해야 할 것은 신뢰성의 확보이며 유전체의 박막화가 진행될수록 중요성이 더해가고 있다. 이에 따라 신뢰성의 평가 방법 또한 발전해가고 있다. TSDC (Thermally Stimulated Depolarization Current) 방법은 전압을 인가하지 않은 상태에서 온도 상승에 따른 재료 내에 흐르는 미세 전류를 측정하여 전자, 정공, dipole, 산소공공 등의 relaxation에 관한 정보를 유추할 수 있는 분석방법이다. 1,2) 이 실험은 반도체에서 trap을 분석하는데 많이 사용하여 왔으며 재료 내부의 defe..
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2022. 10. 18. 08:58