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[논문자료] 방향 판별 분산간섭계의 최적 분산 조건 연구

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by suflux 2022. 6. 21. 08:58

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출처: 픽사베이


 

분산간섭계(Spectrally-Resolved Interferometry, SRI)는 변위 측정 간섭계(Displacement Measuring Interferometry)와는 달리 고정된 길이를 바로 측정할 수 있는 거리측정 간섭계(Distance Measuring Interferometry)인 동시에, 실시간 고속으로 거리 및 형상 측정이 가능하여 산업계에서 널리 사용되고 있다.

 

분산간섭계는 일반적으로 넓은 주파수 대역의 광원을 이용하여 기준광 (Reference Beam)과 측정광(Measurement Beam) 사이의 광학적 거리 차이(Optical Path Difference, OPD)를 측정하며, 분광기 (Spectrometer)를 통해 광주파수 별 간섭 신호(Spectral Interferogram) 를 획득하기 때문에 백색광 주사 간섭계(White Light Scanning Interferometry)와 달리 구동부 없이 거리 측정이 가능한 장점이 있다.

하지만 분산간섭계는 측정 영역에 있어 최대 측정 거리 (Lmax)와 최소 측정 거리(Lmin)가 존재하고, 이로 인해 측정 영역에 한계가 있다. 분산간섭계를 통해 측정할 수 있는 Lmax는 간섭 신호를 획득하는 분광기의 주파수 분해능에 의해 다음과 같이 결정된다.

논문 출처:  https://scienceon.kisti.re.kr/srch/selectPORSrchArticle.do?cn=JAKO201714942384029

 

본 연구에서는 방향 판별 분산간섭계에 대해 방향 판별 유무와 더불어 가시도, 분산량 등을 이론적, 실험적으로 제시하고 이를 통해 최적의 조건을 확인하였다.

 

일반적인 분산간섭계의 한계인 방향 모호성을 해결하기 위해 분산 물질을 이용한 방향 판별 이론을 설명하였고 이를 실험적으로 검증하였다. 또한 방향성 판별에 대한 분산량의 최적의 조건을 찾기 위해 가시도 변화와 위상의 비선형 성분을 동시에 측정하였다. 실험 결과, 가시도는 분산 물질의 두께가 증가함에 따라 저하되는 것을 확인하였으며, BK7 의 두께가 1.2 mm 이상일 때 가시도 저하로 인해 측정 영역이 제한되었다. 또한 분산 물질의 두께에 따른 위상의 비선형 계수는 BK7의 두께가 0.45 mm부터 측정 거리에 따라 부호가 상이하게 나오는 것을 확인하였다. 방향 판별 분산간섭계에서 방향성 판별에 대한 최적의 분산량은 위상의 비선형 효과가 측정 길이에 따라 부호가 상이하게 나오는 -7.510 μm/μm 부터 가시도가 측정 길이에 영향을 미치지 않는 -20.03 μm/μm 이하가 최적 조건임을 확인하였다.


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