항온가압오토클레이브 - HA 시리즈<일신오토클레이브>

항온가압오토클레이브 - HA 시리즈 <일신오토클레이브>

 

HA 시리즈는 반도체 산업에 적용될 수 있도록 제작된 항온가압오토클레이브로 반도체 패키징 공정용 가압 오븐입니다.

전자 제품의 급속한 발달을 가능케 한 4가지 핵심기술로 반도체 기술, 반도체 패키징 기술, 제조기술, 소프트웨어 기술을 들수 있습니다. 그 중 반도체 패키징(전자 패키징)기술은 능동 소자(반도체 칩)와 수동 소자(저항, 콘덴서 등)로 이루어진 전자 하드웨어 시스템에 관련된 기술을 통칭하는 매우 광범위하고 파급성이 큰 중요한 기술입니다. 반도체 패키징은 필요한 전력 공급, 반도체 소자간의 신호연결, 열을 방출 시키는 기능 및 외부 환경변화에 전자 소자를 보호하는 기능이 중요합니다.

 

반도체 패키징은 여러 단계로 나누어지는데, 1단계는 반도체 칩을 와이어 본드(Wire Bond), TAB(Tape Automated Bonding), 플립칩(Flip Chip)을 사용하여 싱글 칩 모듈(Single Chip Module)을 만드는 단계입니다. 모듈 제작시, 에폭시 레진(Epoxy Resin)을 사용하는 Over mold, Underfill 등의 공정에서 발생한 기포(Air Bubbles)나 공동(Voids) 등을 제거하여야 칩의 성능이 향상됩니다. 이를 위해 일신오토클레이브의 "HA series"는 에폭시 레진을 경화시키면서 동시에 질소와 같은 기체를 이용한 등방향 압축을 통해 기포를 제거하는 설비로 구성하여, 경화와 탈포의 공정을 동시에 진행하면서 효율을 높이도록 제작하였습니다.

 

 

 

HA 시리즈 [HA 300]

 

 

HA 300 은 간단한 실험 및 테스트를 위해 컴팩트하게 설계되어 다양한 제품의 시험생산에 적합하도록 제작한 설비입니다. 내부 냉각시스템을 구성하여 공정 후 냉각 속도를 빨리하여 공정효율을 높였습니다. 반도체 모듈을 제작하는 과정에서 에폭시 레진(epoxy resin)을 사용하는 over mold, underfill 등의 공정에서 발생한 기포(air bubbles)나 공동(voids) 등을 제거하는 공정에 사용됩니다.

 

 

 

경화 공정과 기포 제거 공정을 동시에 진행할 수 있습니다. 균일한 온도내에서 등방향으로 압축할 수 있는 압력 조절의 장점을 활용하여 고객이 편리하게 조작하여 테스트가 가능합니다. 반응기의 재질은 기본적으로는 내화학성이 있는 스테인리스 스틸 계열로 제작하며, 커버는 자동으로 개폐할 수 있도록 클램프 타입으로 구성하였다. 가압시 정밀한 기밀 유지 및 안전성을 확보하기 위해 다중라인 가압 방법(seal area pressing)을 사용 하였습니다.

 

 

 

 

HA 시리즈 [HA 440]

 

 

HA 440 모델은 반도체 모듈 제작시, 에폭시 레진(Epoxy resin)을 사용하는 Over Mold, Underfill 등의 과정에서 발생한 기포(air bubbles)나 공동(voids) 등을 제거하는 공정에서 사용됩니다. 경화공정과 기포제거 공정을 동시에 진행할 수 있으며, 다양한 형상의 시편들에 맞춘 트레이를 통하여 생산량을 높일 수 있습니다. 균일한 온도내에서 등방향으로 압축할 수 있는 압력 조절의 장점을 활용하여 고객이 편리하게 조작하여 테스트나 생산이 가능합니다.

 

반응기의 재질은 기본적으로는 내화학성이 있는 스테인리스 스틸 계열로 제작하며, 커버는 자동으로 개폐할 수 있도록 클램프 타입으로 구성됩니다. 가압시 정밀한 기밀 유지 및 안전성을 확보하기 위해 다중 라인 가압 방법을 사용합니다. 배관 라인은 기본적으로 공기 투입, 방출, 안전변 및 열전대로 구성되며, 공정 중 온도와 압력을 균일하게 유지하기 위한 자동 방출 라인이나 급속 냉각을 위한 냉각 코일 등의 옵션사양을 추가할 수 있습니다.

 

 

 

 

 

 

HA 시리즈 [HA 680]

 

HA-680 모델은 여러 개의 다양한 트레이를 사용할 수 있는 공간을 확보하고, 남은 공간으로 공기가 순환할 수 있도록 제작한 설비입니다. 반도체 모듈을 제작하는 과정에서 에폭시 레진(epoxy resin)을 경화시키며, Over Mld, Underfill 등의 공정에서 발생한 기포(Air Bubbles)나 공동(Voids) 등을 제거하는 공정에 사용됩니다. 경화 공정과 기포 제거 공정을 동시에 진행할 수 있는 장점이 있으며, 다양한 형상의 시편들에 맞춘 트레이를 통하여 생산량을 증가시킬 수 있습니다.

 

 

 

균일한 온도내에서 등방향으로 압축할 수 있는 압력 조절의 장점을 활용하여 고객이 편리하게 조작하여 테스트나 생산이 가능합니다.

반응기의 재질은 기본적으로는 내화학성이 있는 스테인리스 스틸 계열로 제작하며, 커버는 자동으로 개폐할 수 있도록 클램프 타입입니다. 가압 시 정밀한 기밀 유지 및 안전성을 확보하기 위해 다중 라인 가압 방법을 사용합니다. 배관 라인은 기본적으로 공기 투입, 방출, 안전변 및 열전대로 구성되며, 공정 중 온도와 압력을 균일하게 유지하기 위한 자동 방출 라인이나 급속 냉각을 위한 냉각 코일 등의 옵션사양을 추가할 수 있습니다.

 

 

HA 시리즈 [HA 720]

 

HA 720 모델은 넓은 내부 공간 확보를 통해 다양한 제품의 적층 및 빠른 공정이 가능하도록 제작한 설비입니다.

 

내부 냉각시스템 구성함으로써 공정 후 내부 냉각 속도를 빨리하여 공정효율을 높였습니다. 반도체 모듈을 제작하는 과정에서 에폭시 레진(epoxy resin)을 경화시키며, Over Mld, Underfill 등의 공정에서 발생한 기포(Air Bubbles)나 공동(Voids) 등을 제거하는 공정에 사용됩니다. 경화 공정과 기포 제거 공정을 동시에 진행할 수 있는 장점이 있으며, 다양한 형상의 시편들에 맞춘 트레이를 통하여 생산량을 증가시킬 수 있습니다. 균일한 온도내에서 등방향으로 압축할 수 있는 압력 조절의 장점을 활용하여 고객이 편리하게 조작하여 테스트나 생산이 가능합니다.

 

 

 

반응기의 재질은 기본적으로는 내화학성이 있는 스테인리스 스틸 계열로 제작하며, 커버는 자동으로 개폐할 수 있도록 클램프 타입입니다. 가압 시 정밀한 기밀 유지 및 안전성을 확보하기 위해 다중 라인 가압 방법을 사용합니다. 배관 라인은 기본적으로 공기 투입, 방출, 안전변 및 열전대로 구성되며, 공정 중 온도와 압력을 균일하게 유지하기 위한 자동 방출 라인 등의 옵션사양을 추가할 수 있습니다

 

HA 시리즈 [HA 720]

 

HA 760 모델은 다양한 트레이를 사용할 수 있도록 하여 제품을 다량 적층할 수 있도록 내부 공간을 확보하였습니다. 또한, 내부 냉각시스템을 구성하여 공정 후 냉각시간을 단축하여 공정효율을 높인 설비입니다. 반도체 모듈을 제작하는 과정에서 에폭시 레진(epoxy resin)을 경화시키며, Over Mld, Underfill 등의 공정에서 발생한 기포(Air Bubbles)나 공동(Voids) 등을 제거하는 공정에 사용됩니다. 경화 공정과 기포 제거 공정을 동시에 진행할 수 있는 장점이 있으며, 다양한 형상의 시편들에 맞춘 트레이를 통하여 생산량을 증가시킬 수 있습니다. 균일한 온도내에서 등방향으로 압축할 수 있는 압력 조절의 장점을 활용하여 고객이 편리하게 조작하여 테스트나 생산이 가능합니다.

 

반응기의 재질은 기본적으로는 내화학성이 있는 스테인리스 스틸 계열로 제작하며, 커버는 자동으로 개폐할 수 있도록 클램프 타입입니다. 가압 시 정밀한 기밀 유지 및 안전성을 확보하기 위해 다중 라인 가압 방법을 사용합니다. 배관 라인은 기본적으로 공기 투입, 방출, 안전변 및 열전대로 구성되며, 공정 중 온도와 압력을 균일하게 유지하기 위한 자동 방출 라인 등의 옵션사양을 추가할 수 있습니다.

 

 

 

일신오토클레이브는 미국기계학회(ASME)의 압력용기 제작 인증 스템프("U1","U2","S")를 보유하고 있는 업체로, 압력용기를 ASME 규정에 맞춰 설계 및 제작을 진행하므로 안전성과 기밀성을 확보한 설비를 제작하고 있습니다.오토클레이브 내부의 온도를 균일하게 유지하기 위한 마그네드라이브 사용, 급속 냉각을 위한 냉각 코일 설치, 클램프 커버의 자동 개폐, 온도 편차를 조절하기 위해서 히터와 완벽한 단열, 압력조절을 위한 자동 밸브 라인과 다중의 안전 장치 등의 다양한 구성을 적용하여 제작하였습니다. 양산이나 생산 목적에 맞게 다양한 옵션 사양들을 추가할 수 있으며, Options & Accessories를 참고하시기 바랍니다.