가압오븐(오토클레이브) - 반도체패키징

가압오븐(오토클레이브) - 반도체패키징

항온가압 오토클레이브 - 반도체패키징은  내부챔버(Vessel) 한개를 설치한 기존모델과 달리 작업공간을 확보할 수 있도록 내부압력 챔버(Vessel)를  병렬로 구성하여 제작합니다. 2개의 챔버를 분리하여 제어가능하도록 하였으며, 공간의 효율적인 사용이 가능합니다.

 
반도체 모듈을 제작하는 과정에서 에폭시 레진(epoxy resin)을 경화시키며, Over Mld, Underfill 등의 공정에서 발생한 기포(Air Bubbles)나 공동(Voids) 등을 제거하는 공정에 사용됩니다. 경화 공정과 기포 제거 공정을 동시에 진행할 수 있는 장점이 있으며, 다양한 형상의 시편들에 맞춘 트레이를 통하여 생산량을 증가시킬 수 있습니다. 균일한 온도내에서 등방향으로 압축할 수 있는 압력 조절의 장점을 활용하여 고객이 편리하게 조작하여 테스트나 생산이 가능합니다.

반응기의 재질은 기본적으로는 내화학성이 있는 스테인리스 스틸 계열로 제작하며, 커버는 자동으로 개폐할 수 있도록 클램프 타입입니다. 가압 시 정밀한 기밀 유지 및 안전성을 확보하기 위해 다중 라인 가압 방법을 사용합니다. 배관 라인은 기본적으로 공기 투입, 방출, 안전변 및 열전대로 구성되며, 공정 중 온도와 압력을 균일하게 유지하기 위한 자동 방출 라인 등의 옵션사양을 추가할 수 있습니다.

0123

 

ing Vessel Dia	Ф 800 ㎜ x 400 ㎜ [2 Chamber]
Working Temperature	~ 220 ℃
Working Pressure	~ 20 ㎏/㎠
Temp. & Pressure Deviation	±1.5 (%) 이내
Motor Rotational Speed	~1,750 rpm
Dimension	2,910 (W) X 1,912 (D) X 1,854(H)

HA 800 특징

설비의 안전성
• ASME U1, U2 압력용기 규정 설계
• KGS, KOSHA의 고압 압력용기 인증
• 다중 압력관리를 통한 단계별 안전성 확보
• 알람 리스트 등을 통한 지속적 장비 이력
 
사용의 편리성
• 원료 투입후 모든 조작과 작동 상태는 제어시스템에서 관리가 이루어지므로 편리
• 설비 규모가 크므로 조립 및 분해가 용이
공정의 효율성
• 공정 후 빠른 내부 온도 하강이 가능하도록 냉각장치 구성
• 온도 유지를 위한 단열장치로 내부 자켓 사용 
제어시스템
• 터치스크린을 활용한 전장 구성
• 실험 데이터 기록을 통한 정밀한 실험 및 자동 시스템 구현 가능 
 
 
오토클레이브의 공정 변수

온도균일성
• 내부 순환 팬을 설치하여, 상· 하· 좌· 우의 온도 편차 최소화
• 내외부 단열을 통한 온도 유지 
압력정확성
• 자동조절 밸브 라인을 통한 1.5%(Max)이내 편차 유지
 
생산량 결정
• 1회 장입량 계산(제품크기→내부공간 설정)
• 온도, 압력, 유지시간 결정